薄膜技術(shù)在精密電阻中的應用

摘要：薄膜技術(shù)已經(jīng)廣泛的應用在包括薄膜貼片電阻在內(nèi)的精密元器件生產(chǎn)制造領(lǐng)域，本文主要介紹了薄膜技術(shù)為風華薄膜電阻在低溫漂、高精度、高穩(wěn)定性和耐濕性方面帶來的成果。
一、薄膜技術(shù)(thin film technique) 是薄膜制備、測試等相關(guān)的各種技術(shù)的總稱。薄膜是一種特殊的物質(zhì)形態(tài)，由于其在厚度這一特定方向上尺寸很小，只是微觀可測的量，而且在厚度方向上由于表面、界面的存在，使物質(zhì)連續(xù)性發(fā)生中斷，由此使得薄膜材料產(chǎn)生了與塊狀材料不同的獨特性能。薄膜的制備方法很多，如氣相生長法、液相生長法(或氣、液相外延法)、氧化法、擴散與涂布法、電鍍法等等，而每一種制膜方法中又可分為若干種方法。薄膜技術(shù)涉及的范圍很廣，它包括以物理氣相沉積和化學氣相沉積為代表的成膜技術(shù)，以離子束刻蝕為代表的微細加工技術(shù)，成膜、刻蝕過程的監(jiān)控技術(shù)，薄膜分析、評價與檢測技術(shù)等等?，F(xiàn)在薄膜技術(shù)在電子元器件、集成光學、電子技術(shù)、紅外技術(shù)、激光技術(shù)以及航天技術(shù)和光學儀器等各個領(lǐng)域都得到了廣泛的應用，它們不僅成為一間獨立的應用技術(shù)，而且成為材料表面改性和提高某些工藝水平的重要手段。
二、薄膜精密電阻厚膜電阻和SSM薄膜電阻在材料和工藝上的區(qū)別直接導致了兩種電阻在性能上的差異。厚膜電阻一般較差，10%，5%，1%是常見精度，而南京南山代理的風華薄膜電阻則可以做到0.01%萬分之一精度，0.1%千分之一精度等。同時厚膜電阻的上很難控制，一般較大，同樣的，風華薄膜電阻則可以做到非常低的溫度系數(shù)，這樣電阻阻值隨溫度變化非常小，阻值穩(wěn)定可靠。所以風華高科生產(chǎn)的薄膜貼片電阻常用于各類儀器儀表，醫(yī)療器械，電源，電力設(shè)備，電子數(shù)碼產(chǎn)品等。

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